《GB/T 24582-2009》酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质GB/T 24582-2009
《GB/T24582-2009》酸浸渍-电感耦合等离子体质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 GB/T24582-2009
《GB/T 12690.5-2003》稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 铝、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铅的测定电感耦合等离子体发射光谱法（方法1）钴、锰、铅、镍、铜、锌、铝、铬的测定电感耦合等离子体质谱法（方法2）GB/T 12690.5-2003
《GB/T37049-2018》电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
《GB/T24582-2009》酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 GB/T24582-2009
《GB/T 37049-2018》电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法GB/T 37049-2018
《SEMI PV49-0613》多晶硅基体金属杂质分析 电感耦合等离子体质谱法 SEMI PV49-0613
《GB/T12690.5-2003》稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法电感耦合等离子体发射光谱法（方法1）铁、钴、锰、铅、镍、铜、锌、铝、铬的测定 电感耦合等离子体质谱法钴、锰、铅、镍、铜、锌、铝、铬的测定（方法2）
《GB/T 24582-2009》酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 GB/T 24582-2009
《GB/T12690.5-2017》稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 铝、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、铅的测定 电感耦合等离子体发射光谱法(方法1) 钴、锰、铅、镍、铜、锌、铝、铬的测定 电感耦合等离子体质谱法(方法2)