GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范 现行

标准号：GB/T 16595-2019
中文标准名称：晶片通用网格规范
英文标准名称：Specification for a universal wafer grid
标准状态：现行,发布于2019-03-25; 实施于2020-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：浙江海纳半导体有限公司;有研半导体材料有限公司;上海合晶硅材料有限公司;有色金属技术经济研究院;浙江省硅材料质量检验中心
全部替代标准：GB/T 16595-1996
相近标准：GB/T 16595-1996 晶片通用网格规范; 20162489-T-469 晶片通用网格规范; 晶片通用网格规范; GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范; GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范; 20162491-T-469 确定晶片坐标系规范; 确定晶片坐标系规范; GB/T 15713-1995 锗单晶片; JB/T 5475-1991 网格板; DB35/T 1808-2018 城乡社区网格员工作规范