GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷 现行

标准号：GB/T 31987-2015
中文标准名称：电子工业用气体 锗烷
英文标准名称：Gas for electronic industry—Germane
标准状态：现行,发布于2015-09-11; 实施于2016-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司;中昊光明化工研究设计院有限公司;西南化工研究设计院;佛山市华特气体有限公司;国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
相近标准：GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷; GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯; GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨; GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩; GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮; GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧; GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢; GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦; GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢; GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦