GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片 现行

标准号：GB/T 30656-2014
中文标准名称：碳化硅单晶抛光片
英文标准名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行,发布于2014-12-31; 实施于2015-09-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司;中国科学院物理研究所
相近标准：20200799-T-469 碳化硅单晶抛光片; 碳化硅单晶抛光片; 20110061-T-469 碳化硅单晶抛光片; SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范; SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法; GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法; 20110062-T-469 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法; GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片; GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片; 20151794-T-469 硅单晶抛光片