GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 被代替

标准号：GB/T 26068-2010
中文标准名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
英文标准名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
标准状态：被代替,发布于2011-01-10; 实施于2011-10-01; 被代替于2019-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司;中国计量科学研究院;瑟米莱伯贸易（上海）有限公司;洛阳单晶硅有限责任公司等
被以下标准代替：被GB/T26068-2018GB/T26068-2018全部代替
相近标准：20081130-T-469 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法; 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法; GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法; 20151792-T-469 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法; GB/T 1553-2009 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法; GB/T 1553-1997 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法; 20210889-T-469 硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法; 20063373-T-469 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法; 硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法; 20204895-T-469 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法