GB/T 25186-2010 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子 现行

标准号：GB/T 25186-2010
中文标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
英文标准名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
标准状态：现行,发布于2010-09-26; 实施于2011-08-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2010-09-26
实施日期：2011-08-01
中国标准分类号：71.040.40
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心
采标情况：本标准等同采用ISO国际标准：ISO 18114:2003。
采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子。
相近标准：20075695-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子; GB/T 34174-2017 表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序; 20150513-T-469 表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序; 20071058-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法; GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法; 20193156-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法; 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法; 表面化学分析 验证工作参考物质中离子植入产生的保留面剂量的建议规程; 20193157-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准; GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法