GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 现行

标准号：GB/T 24575-2009
中文标准名称：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
英文标准名称：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国电子科技集团公司第四十六研究所
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1617-0304。
采标中文名称:二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾。
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