GB/T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法 现行

标准号：GB/T 13387-2009
中文标准名称：硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
英文标准名称：Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司
全部替代标准：GB/T 13387-1992
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF671-0705。
采标中文名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测试方法。
相近标准：20065622-T-469 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法; GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法; JC/T 2268-2014 制动摩擦材料中铜及其它元素的测定方法; SN/T 1333-2003 入出境汽车及其它车辆消毒规程; SN/T 1341-2003 入出境汽车及其它车辆卫生检疫查验规程; 20020890-T-604 土方机械 低速机器报警装置 超声波及其它系统; GB/T 21939-2008 土方机械 低速机器报警装置 超声波及其它系统; 20065687-T-610 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法; GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法; GB/T 15077-1994 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法