GB/T 24579-2009 酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物 现行

标准号：GB/T 24579-2009
中文标准名称：酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物
英文标准名称：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国电子科技集团公司第四十六研究所
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF1724-1104。
采标中文名称:采用酸萃取 原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属沾污。
相近标准：20070863-T-469 酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物; GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质; 20073569-T-469 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质; 20210891-T-469 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法; 多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法; GB/T 12963-2014 电子级多晶硅; 20194174-T-469 电子级多晶硅; 电子级多晶硅; 20112173-T-469 电子级多晶硅; SY/T 5982-1994 原子吸收光谱法测定油气田水中金属元素