GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 被代替

标准号：GB/T 19921-2005
中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
标准状态：被代替,发布于2005-09-19; 实施于2006-04-01; 被代替于2019-07-02; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
中国标准分类号：77.040.01
国际标准分类号：77.040.01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
执行单位：全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草单位：北京有色金属研究总院
被以下标准代替：被GB/T19921-2018GB/T19921-2018全部代替
相近标准：GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法; 20151791-T-469 硅抛光片表面颗粒测试方法; 硅抛光片表面颗粒测试方法; GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法; YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法; 20000544-T-610 硅抛光片表面质量（颗粒）检测方法; SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法; SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法; GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法; GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法