GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 被代替

标准号：GB/T 12964-2003
中文标准名称：硅单晶抛光片
英文标准名称：Monocrystalline silicon polished wafers
标准状态：被代替,发布于2003-06-16; 实施于2004-01-01; 被代替于2019-06-02; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2003-06-16
实施日期：2004-01-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京有色金属研究总院
全部替代标准：GB/T 12964-1996
被以下标准代替：被GB/T12964-2018GB/T12964-2018全部代替
相近标准：GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片; 20151794-T-469 硅单晶抛光片; 硅单晶抛光片; GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片; GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片; 20200799-T-469 碳化硅单晶抛光片; 碳化硅单晶抛光片; 20080028-T-469 300mm 硅单晶抛光片; 20110061-T-469 碳化硅单晶抛光片; SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范