GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范 现行

标准号：GB/T 16523-1996
中文标准名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范
英文标准名称：Specification for round quartz photomask substrates
标准状态：现行,发布于1996-09-09; 实施于1997-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
采标情况：本标准等效采用其他国际标准：SEMI P4:1992。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板; 20141709-T-609 光掩模石英玻璃基板; 20120286-T-469 平板显示器掩模基板规范; JC/T 2205-2014 石英玻璃术语; JC/T 185-2013 光学石英玻璃; JC/T 2245-2014 石英玻璃纤维纱; JC/T 2244-2014 石英玻璃纤维布; GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆; 20141708-T-609 光刻用石英玻璃晶圆; JC/T 652-2011 石英玻璃器皿 烧瓶