GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

百检网 2021-07-14

标准号：GB/T 12964-2003
中文标准名称：硅单晶抛光片
英文标准名称：Monocrystalline silicon polished wafers
标准类型：H82
发布日期：2003/6/16 12:00:00
实施日期：2004/1/1 12:00:00
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
适用范围：本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。

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