20202826-T-469 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法正在征求意见

百检网 2021-07-16

标准号：20202826-T-469
中文标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法
英文标准名称：Test method for measuring boron, aluminum, nitrogen content in monocrystalline silicon carbide by secondary ion mass spectrometry
标准状态：正在征求意见
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
相近标准：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次离子质谱法; 碳化硅单晶; 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法;2020
标准制修订：制订

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