标准号：GB/T 32188-2015
中文标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文标准名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
标准状态：现行
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 现行
百检网 2021-07-16
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