GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 36401-2018
中文标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告
英文标准名称：Surface chemical analysis.X-ray photoelectron spectroscopy.Reporting of results of thin-film analysis
标准类型：G04
发布日期：2018/6/7 12:00:00
实施日期：2019/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
引用标准：ISO 18115-1-2010
适用范围：本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的*少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

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