GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

标准号：GB/T 18994-2003
中文标准名称：电子工业用气体 高纯氯
英文标准名称：Gases for electronic industry--High purity chlorine
标准类型：G86
发布日期：2003/3/5 12:00:00
实施日期：2003/8/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围：本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．980 k9／m3。