GB/T 14851-2009 电子工业用气体.磷化氢

百检网 2021-07-19

标准号：GB/T 14851-2009
中文标准名称：电子工业用气体.磷化氢
英文标准名称：Gas for electronic industry.Phosphine
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB 5099-1994;GB 7144-1999;GB/T 8984-2008;GB 11640-1989;GB 14193-2009;气瓶安全监察规程
适用范围：本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

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