GB/T 26069-2010 硅退火片规范

标准号：GB/T 26069-2010
中文标准名称：硅退火片规范
英文标准名称：Specification for silicon annealed wafers
标准类型：H80
发布日期：2011/1/10 12:00:00
实施日期：2011/10/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 1550;GB/T 1554;GB/T 1555;GB/T 1557;GB/T 2828.1;GB/T 4058;GB/T 6616;GB/T 6618;GB/T 6620;GB/T 6621;GB/T 6624;GB/T 11073;GB/T 13387;GB/T 13388;GB/T 14140;GB/T 14144;GB/T 14264;GB/T 19921;GB/T 24578;YS/T 26
适用范围：本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。