标准号：KS D 0261-2012
中文标准名称：镜面硅片的外观检验
英文标准名称：Visual inspection for silicon wafers with specular surfaces
标准类型：H81
发布日期：2012/5/17 12:00:00
实施日期：2012/5/17 12:00:00
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：77.120.99
适用范围：이 표준은 반도체 소자용 실리콘 웨이퍼를 화학적ㆍ기계적 방법으로 거울면 다듬질한 웨이퍼(이
KS D 0261-2012 镜面硅片的外观检验
百检网 2021-07-19
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