标准号：YS/T 23-2016
中文标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
英文标准名称：Test method for thickness of epitaxial layers.Stacking fault size
标准类型：H21
发布日期：2016/4/5 12:00:00
实施日期：2016/9/1 12:00:00
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
引用标准：GB/T 14264;GB/T 14847
适用范围：本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在〈111〉、〈100〉和〈110〉晶向的硅单晶衬底上生长的2 μm~120 μm硅外延层厚度的测量。
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
百检网 2021-07-19
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