DINEN62047-12-2012 半导体器件微电机器件第12部分:用微电机系统结构谐振进行薄膜材料的弯曲疲劳试验方法

百检网 2021-07-21
标准号:DINEN62047-12-2012
中文标准名称:半导体器件微电机器件第12部分:用微电机系统结构谐振进行薄膜材料的弯曲疲劳试验方法
英文标准名称:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part12:BendingfatiguetestingmethodofthinfilmmaterialsusingresonantvibrationofMEMSstructures(IEC62047-12:2011);GermanversionEN62047-12:2011
中国标准分类号:L40
国际标准分类号:31.080.01   31.220.01

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