DINEN62047-25-2017 半导体器件微电机器件第25部分:硅基MEMS制造工艺微焊接区的拉压和剪切强度测量方法

百检网 2021-07-21
标准号:DINEN62047-25-2017
中文标准名称:半导体器件微电机器件第25部分:硅基MEMS制造工艺微焊接区的拉压和剪切强度测量方法
英文标准名称:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part25:SiliconbasedMEMSfabricationtechnology-Measurementmethodofpull-pressandshearingstrengthofmicrobondingarea(IEC62047-25:2016);GermanversionEN62047-25:2016
中国标准分类号:L40
国际标准分类号:31.080.99   31.220.01

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