标准号：DIN50457-1-1999
中文标准名称：半导体技术材料的检验;湿化学法在掺杂气体混合物中元件的容积分馏的测定.第1部分:在氢二甲硼烷混合物中的二甲硼烷
英文标准名称：Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofthevolumefractionofcomponentsindopantgasmixturesbywet-chemicalmethods-Part1:Diboraneinhydrogendiboranemixtures
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
DIN50457-1-1999 半导体技术材料的检验;湿化学法在掺杂气体混合物中元件的容积分馏的测定.第1部分:在氢二甲硼烷混合物中的二甲硼烷
百检网 2021-07-21
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