GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉

标准号：GB/T 10067.410-2014
中文标准名称：电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉
英文标准名称：Basic specifications for electroheat installations.Part 410: Single crystal growing furnace
标准类型：K61
发布日期：2014/12/5 12:00:00
实施日期：2015/4/16 12:00:00
中国标准分类号：K61
国际标准分类号：25.180.10
引用标准：GB 150-2011;GB/T 2900.23-2008;GB 3095-2012;GB 8702-1998;GB 8978-1996;GB/T 10066.1-2004;GB/T 10066.4-2004;GB/T 10067.1-2005;GB/T 10067.4-2005;GB 12348-2008;GB 16297-1996;JB/T 9691-1999
适用范围：GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。