标准号：GB/T 14601-2009
中文标准名称：电子工业用气体.氨
英文标准名称：Gas for electronic industry.Ammonia
标准类型：G86
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB 7144-1999;GB 14193-2009;气瓶安全监察规程;压力容器安全技术监察规程
适用范围：本标准规定了氨的技术要求，试验方法以及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
GB/T 14601-2009 电子工业用气体.氨
百检网 2021-07-31
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