标准号：20192102-T-469
中文标准名称：集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
英文标准名称：Low density crystal originated pit polished monocrystalline silicon wafers for integrated circuits
标准状态：正在征求意见
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司
相近标准： 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片;GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片;GB/T 12964-2018
标准制修订：制订
20192102-T-469 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 正在征求意见
百检网 2021-08-05
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