GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片 现行

百检网 2021-08-05
标准号:GB/T 12964-2018
中文标准名称:硅单晶抛光片
英文标准名称:Monocrystalline silicon polished wafers
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2018/9/17 12:00:00
实施日期:2019/6/1 12:00:00
中国标准分类号:上海合晶硅材料有限公司
国际标准分类号:29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:有研半导体材料有限公司
起草人:卢立延
相近标准: ;GB/T 12964-2003 ;GB/T 12964-2003  硅单晶抛光片;20

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