飞行时间二次离子质谱仪

百检网 2021-11-11

（1）产品浅表面存在微小的异物，而常规的成分测试方法无法准确对异物进行定性分析，TOF-SIMS能分析≥10μm直径的异物成分。 ? ?（2）产品表面膜层太薄，无法使用常规测试进行成分分析， ? ?（3）当膜层与基材截面出现分层等问题，但是未能观察到明显的异物痕迹，可使用TOF-SIMS分析表面痕量物质成分，以确定截面是否存在外来污染，检出限高达ppm级别。
（4）判断掺杂离子的深度

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