双束显微镜

百检网 2021-11-11

通过聚焦离子束的刻蚀和沉积制作纳米图形。用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，也可用于制备TEM样品和集成电路的失效分析等。主要具有以下功能：一、扫描电子显微镜SEM：各种材料形貌观察和分析；二、能谱分析仪EDS：材料微区成分分析；三、聚焦离子束系统FIB：材料微纳结构的样品制备，样品微观刻蚀与沉积等。

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