二次离子质谱仪

百检网 2021-11-11

应用范围：　（1）样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析；（2）样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析；（3）样品组分和杂质元素面分布的离子图象；（4）多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析；（5）厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析学术特色: （1）进行包括元素氢（H）在内的全元素分析；（2）深度剖析IC工艺结深、表面金属化、背面金属化和表面钝化层等；（3）深度剖析半导体材料Si , GaAs , HgCdTe , Ge , AsGaIn 和 InP等中的杂质分布；（4）S

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