详细信息
主要技术指标：
移动载台X/Y方向：移动行程*大12"/300mm,分辨率≤0.1um；移动载台Z方向分别率≤0.06um；移动载台Theta方向选择角度精度≤0.075um；三轴温控系统与卡盘：漏电流fA级；温度范围-45°-200°；温控分辨率≤0.1°；高功率模块测量分辨率2uV/10fA；高分辨率模块测量分辨率0.5uV/1fA；多频电容测量模块测量分辨率0.035fF rms 2；开关切换器漏电流≤100fA；脉冲周期>200ns。
主要功能：
射频测试，直流测试。 器件测试：传输线，mos管，电感等
服务信息
服务内容：
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收费标准：
2500
用户须知：
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