干法刻蚀台RIE

百检网 2021-11-11

主要技术指标

硅片尺寸15*2‘’，腐蚀速率≥300?/min

主要功能/应用范围

刻蚀台面

服务内容

自设备启用之日起，便对外开放

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

凡需要使用仪器的企业和个人，请提前预约，并填写测试委托单。测试（加工、试验等）完成后，用户和负责仪器设备共享的管理人签字确认后，去财务缴费，持收据领取结果。

参考收费标准

面议

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