KrF准分子激光器

百检网 2021-11-11

属于冷激光，无热效应，方向性强、波长短（紫外），纯度高、输出功率大，脉冲宽度短。在脉冲沉积镀膜（PLD）过程中，强脉冲激光作用下的靶材物质聚集态迅速发生变化，成为新的状态而跃出，直达基片表面凝结成薄膜。

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