硅基微结构激光三维成型系统

百检网 2021-11-11

在X,Y,Z三个方向上分别利用聚焦飞秒激光束进行热加工，完成CAD制图图样，本系统带由图像设计软件和激光加工在线监测系统，可以在电脑屏幕上观察加工过程，并对加工样品进行显微测量

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