全自动硅片检测系统

服务领域： 能源,电子与测量,其他,土壤,材料,生物医学,石油化工, 技术指标： 全自动在线测试，电阻率检测范围：0.1-10ohmcm，电阻率测试准确性：偏差<±5%；厚度测试准确性：偏差< ±1μm；厚度测试重复性：1σ<0.5%；TTV测试准确性：偏差<±5%；TTV测试重复性：1σ<5%；线痕检测准确性：偏差<±5%；线痕检测重复性：1σ<5%；边宽检测准确性：偏差<±60？，边宽检测重复性：1σ<20？；隐裂检测*值：宽度≥30？，长度≥200？，检测准确率：>95%；杂质点检测*值：Size≥50？×50？，检测准确率：>95%；孔洞检测*值：深度≥50？，长度≥50？，检测准确率：>95% 生产厂商： 匈牙利施美乐博 仪器国别： 启用时间： 2014-09-30 仪器认证： 湖北省计量院 安放地点： 硅片分检室 主要用途： 批量全自动在线测试主要用于单晶、多晶硅片及其他片状物质的外观异常、内部缺陷、厚度变化、表面粗糙度变化、几何尺寸、电阻率、P/型的测试 主要附件及功能： 批量全自动在线测试主要用于单晶、多晶硅片及其他片状物质的外观异常、内部缺陷、厚度变化、表面粗糙度变化、几何尺寸、电阻率、P/型的测试