薄膜表面测试_薄膜特性检测
背景介绍：材料表面及其涂层在创新产品中发挥着越来越重要的作用。 产品表面 1 纳米厚度范围的结构和化学成分可能影响和决定产品功能，所以您需要了解薄膜表面的精确结构以确保获得期望的功能。剂拓科技提供专业的分析和成像技术，助您分析薄膜类产品。包括薄膜成分检测、薄膜表面分析及薄膜产品剖析检测服务。
薄膜成分检测：针对薄膜表面成分分析主要的测试方法：
方法 | X射线电子能谱(XPS) | 俄歇电子能谱 (AES) | X射线荧光光谱(XRF) | X射线能谱 (EDS) |
方法概述 | 表面成分的超微量和痕量检测方法。 | 进行成分的深度剖析、薄膜及界面分析。 | 固体、液体、粉末测试。 | 对材料微区进行元素种类与含量测定，配合扫描电镜使用。 |
检测灵敏度 | 10-2-10-3 | 10-2-10-3 | >10-2 | >10-2 |
应用特点 | 无损检测，可作为定量分析 | 可分析H\He以外的所有元素，对样品表面要求较高，可作为定量分析。 | 测试Z=0-80的所有元素，含量ppm级-****。同时可以测量外延层晶格参数。 | 只能测Z>11的元素,准确性较低 |
薄膜表面分析：针对薄膜表面形貌主要的测试方法：
测试方法 | 适用条件 |
扫描电子显微镜（SEM）/场发射扫描电子显微镜 | 薄膜表面断面形貌分析, 填料分散状态复合材料结构, 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。结合EDS进行元素定性分析。 |
透射电镜（TEM） | 透射电镜可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构，获得高倍放大倍数的电子图像；得到电子衍射花样。
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扫描隧道显微镜（STM） | 扫描隧道显微镜作为一种扫描探针 |
原子力显微镜（AFM） | AFM提供真正的 |
薄膜配方剖析：通过红外光谱（FTIR）、核磁共振（1HNMR）、质谱（MS）、X射线衍射分析（XRD）、ICP-MS、X-荧光光谱分析、离子色谱分析等技术解析薄膜的配方剖析。
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