XRF 用 X光照射待分析样品，样品中的元素内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会放射出特征 X 光；不同的元素会放射出各自的特征 X 光，具有不同的能量或波长特性。
仪器技术参数
X射线管靶： 铑靶（Rh）,X射线管压： 60kv(Max), X射线管压： 150mA(Max)
检测元素范围：4Be～92U,检测浓度范围：10-6～****, *小分析微区：直径250μｍ
*大扫描速度：300º/min
送样要求
固体粉末：均匀干燥，粒度小于70um（过200目），质量不少于100 mg；
块体、金属及薄膜样品：需加工出一平整的表面，尺寸约为20mm×10mm×2mm
应用领域
电子、磁性材料领域：用来研究半导体、磁光盘、磁性材料、电池、线路板、电容嚣等；化学工业领域：可用来研究无机、有机制品、化学纤维 催化剂、涂料、颜料、药品 、化妆品、洗涤剂、橡胶、调色剂等成分；钢铁、有色金属领域：可用来研究和测定各种合金成分；陶瓷、水泥领域：可用来测定水泥、水泥原料、陶瓷、熟料、石灰石、粘土、玻璃、耐火材料、岩石等；农业、食品工业中可用来检测中土壤、肥料、植物、食品等。
常见适用标准
GBT 18043-2008 首饰 贵金属含量的测定 X射线荧光光谱法
GBZ 21277-2007 电子电气产品中限用物质铅、汞、铬、镉和溴的快速筛选
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