标准简介
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的*大固熔度。英文名称：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
标准状态：作废
替代情况：替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989;被GB/T 1557-2018代替
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门：质量监督检验检疫总局.
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
作废日期：2019-06-01
出版日期：2006-11-01
页数：7页
前言
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