标准简介
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。英文名称：Generic specification for ion implantation equipment
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 15862-2012代替
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
作废日期：2013-02-15
页数：平装16开， 页数：10， 字数：15千字
前言
加工专用设备相关标准
