标准简介
本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。英文名称：Polycrystalline silicon
标准状态：作废
替代情况：替代GB 12963-1991;被GB/T 12963-2009代替
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1996-01-01
实施日期：1997-04-01
作废日期：2010-06-01
出版日期：1997-04-01
页数：平装16开， 页数：6， 字数：6千字
前言
元素半导体材料相关标准
