标准简介
本标准规定了硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。英文名称：Monocrystalline silicon polished wafers
标准状态：作废
替代情况：GB/T 12964-1996;被GB/T 12964-2018代替
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2003-06-01
实施日期：2004-01-01
作废日期：2019-06-01
出版日期：2004-01-01
页数：平装16开， 页数：11， 字数：17千字
前言
元素半导体材料相关标准
