标准简介
本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
出版日期：2004-04-11
页数：平装16开， 页数：14， 字数：24千字
前言
加工专用设备相关标准
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