标准简介
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。英文名称：Silicon epitaxial layers－Determination of carrier concentration－Mercury probe valtage-capacitance method
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14146-2009代替
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：29.040.30
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
作废日期：2010-06-01
页数：平装16开， 页数：6， 字数：8千字
前言
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