标准简介
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。英文名称：Gases for electronic industry—Boron trifluoride
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 14603-1993
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
页数：16页
前言
本标准代替GB/T14603-1993《电子工业用气体 三氟化硼》。本标准与GB/T14603-1993相比主要区别如下:---修改三氟化硼的适用范围(GB/T14603-1993的第1章,本版的第1章);---修改规范性引用文件(GB/T14603-1993的第2章,本版的第2章);---修改三氟化硼的技术指标内容(GB/T14603-1993的第3章,本版的第3章);---增加三氟化硼采样安全要求(本版的4.1.2);---修改氮、氧(氩)含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.3);---修改二氧化硫含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.6);---增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法(见本版的4.3);---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14603-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---增加资料性附录A,并把测定三氟化硼中的氮、氧(氩)、二氧化碳和四氟化碳含量的色谱切割流程图写入该附录(见附录A)。本标准的附录A 为资料性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位:核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:---GB/T14603-1993。
