标准简介
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规 模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。 分子式:Cl2。 相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。英文名称：Gases for electronic industry—High purity chlorine
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 18994-2003
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
出版日期：2015-07-01
页数：12页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替 GB/T18994—2003《电子工业用气体 高纯氯》。与 GB/T18994—2003相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下:———修改了范围(见第1章,2003年版的第1章);———修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章);———修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章);———修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章);———删去了取样装置的规定(2003年版的4.1);———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4);———增加了氢含量的测定方法(见4.3);———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5);———增加了金属元素含量的测定方法(见4.5);———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:———GB/T18994—2003。
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