标准简介
本标准规定了电子探针分析仪的检测条件、技术要求、检测方法、判别原则与检测周期。本标准适用于使用中、修理后用X射线波长分光谱仪进行素分析的电子探针分析仪的检测。配有波谱仪的扫描电子显微镜的检测可参照执行。英文名称：Method for testing EPMA instrument
标准状态：作废
中标分类：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>光学和光学测量>>17.180.30光学测量仪器
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1994-05-09
实施日期：1994-01-02
作废日期：2005-10-14
页数：平装16开， 页数：6， 字数：8千字
前言
电子光学与其他物理光学仪器相关标准
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