标准简介
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。英文名称：Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution
标准状态：现行
中标分类：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2012-07-31
实施日期：2013-02-01
出版日期：2013-02-01
页数：24页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准采用翻译法等同采用ISO18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》。本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。
