标准简介
本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下简称蓝宝石衬底片)。英文名称:Polished mono-crystalline sapphire substrate product
标准状态:现行
发布部门:国家质量监督检验检疫.
发布日期:2014-07-24
实施日期:2015-04-01
出版日期:2015-04-01
页数:24页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司。本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮、袁忠纯、蔡金荣。