JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

百检网 2022-10-27

标准简介

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。本标准适用于二电位的二*型和三*型溅射离子泵。
标准状态：作废
替代情况：JB 4081-85;被JB/T 4081-2011代替
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
发布部门：国家机械工业局
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
作废日期：2012-04-01
出版日期：1992-07-01
页数：2 页

前言

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